優點
1. 進氣口導熱能力高
- 即使在高真空度環境下仍保持高排氣量
2. 蒸氣耐受性高
- 透過氣體平衡閥,試劑和水蒸氣的耐受性可達排氣容量之 10% ,令操作更寧靜,最終真空效果更理想
3. 防腐蝕設計
- 內壁主要經機械研磨及等離子處理,關機時油封裝置能有效防止腐蝕性氣體進入泵內
4. 新式潤滑設計、較大油量
- 令操作寧靜,增加泵油壽命
5. 設計堅固
- 體積輕巧,方便維護
型號 |
流量 50/60Hz |
電機速度 |
重量 |
最終真空度 (局部 ): |
最終真空度 (整體 ): |
最終真空度 (局部 ) 平衡氣閥打開 : |
外型尺寸 |
RZ2.5 |
2.3 /2.8 |
0.18 |
11.4 |
4x10-4mbar |
2x10-3mbar |
1x10-2mbar |
308x125x190 |
RZ6 |
5.7 /6.8 |
0.3 |
16.4 |
4x10-4mbar |
2x10-3mbar |
1x10-2mbar |
370x142x207 |
RZ9 |
8.9/10.2 |
0.55 |
22.1 |
4x10-4mbar |
2x10-3mbar |
1x10-2mbar |
505x152x232 |
RZ16 |
16.6/19.1 |
0.55 |
29 |
4x10-4mbar |
2x10-3mbar |
1x10-2mbar |
545x152x232 |
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